DIY NMOS 1 process

Moderator: BarsMonster

Post Reply [phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable
User avatar
BarsMonster
Site Admin
Posts: 1118
Joined: Wed Oct 01, 2008 7:58 pm
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

DIY NMOS 1 process

Post by BarsMonster » Fri Sep 16, 2011 4:14 pm

Касательного твоего вопроса про окисление на воздухе, в старых процессах многие операции начиналсиь так: Пластины освежают в растворе HF(1%) + H20 DeW 99% в течении 15сек при 20град
3.1.2 Сушка на центрифуге при 700 об/мин в течении 2мин. Это удалет оксид и другие загрязнения. В соврм процессахп о другому, но это обсуждать смысла не имеет.

Про металлизацию я усе придумал. Анодное осаждение индия из сульфаматного электролита с циклами реверсирования тока. Дает нужное качество пленки, и свойства металла подходят хорошо. С алюминием ты обломишься. По крайней мере p-mop еще может получиться, а с n-mop не выйдет. Анодным процессом алюминий не осядет как надо, это не автокаталичический металл и восстанавливается во всем объеме раствора а не на поверхности. Даже если пленка осядет хорошо в самодельной вакуумке, все равно оммического контакта не получиться. Будет шотковский барьер, а после нагревания в печке вообще может образоваться p-n переход паразитный. В промышленных процессах испльзует не алюминий а 1% сплав с кремнием n-типа 50 Ом/см и вжигание контакта в кремний при 450град.

Итак остается 2 вещи затворы и защитный слой после металлизации. Индий нагревать сильно нельзя, да и фосфоросиликатное стекло вырашивают из хлорсилана в вакуумной печи поэтому это не пойдет. Вместо этого можно использовать фотореактивный полиимид, он наноситься как фоторезист последним слоем. в нем литографией делаешь окна под внешние контакты кристалла, а потом полимеризуешь в ИК печке. И у тебя будет почти нормальный корпус. Еще бы после этого конаткы наростить по толщине чем нибудь надо, плека то металлизации пару микрон всего. Но если использовать поверхность нашей крупносхемы как печатную плату и не перворачивать контактами вниз, то и так сойдет. В эти контакные окна паять сверху smd компоненты.

С затворами и локальным оксилом вокруг активных зон для начала лучше сделать как тебе советовали на форуме, найти кого-нибудь на эл. заводе и частным образом заказть у него подложек с нанесенным поликремнием, и делать без LOCOS транзисторы с кольцевой топологией. Ну а позже как научишься нормально можно попробовать толстый окисел вырашивать FIPOS процессом.

User avatar
BarsMonster
Site Admin
Posts: 1118
Joined: Wed Oct 01, 2008 7:58 pm
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

Re: DIY NMOS 1 process

Post by BarsMonster » Fri Sep 16, 2011 4:37 pm

Технологический процесс Danilov_DIY_NMOS1
Основные принципы построения

Минимальное количество операций
Отсутствие операций требующих применение токсичных газов, высоковольтного оборудования, глубокого вакуума, криогенной техники, длительных высокотемпературных процессов. Отсутствие отдельных чистых помещений, контроль среды в объеме установки. По возможности применять процессы требующих контроля не более 3х технологических параметров.

- попадание минимума ионов щелочных и тяжелых металлов из реагентов;
- минимум запыляющих обдувок;
- согласованность деформаций;
- минимум термообработок;
- максимальная планарность рельефа.

Исходя из этого маршрут состоит из фотохимических, электрохимических, фотоэлектрохимических, и быстрых термический операций, чередуемых с мокрой очисткой с УЗ ванне. Возможно попытаться в общих чертах воспроизвести процессы:
лазерно-селективное фотохимическое травление, селективное электрохимическое окисление (FIPOS), молекулярное наслаивание (ALD), жидкофазное молекулярное наслаивание (SILAR), электрохимическое молекулярное наслаивание (ECALD), анодное осаждение металлических пленок.


электроихимическая полировка и планаризация

Danilov
Posts: 1
Joined: Wed Sep 21, 2011 7:30 pm
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

Re: DIY NMOS 1 process

Post by Danilov » Wed Sep 21, 2011 8:21 pm

Итак, накропал небольшую схемку самодельного литографа.

Механика:
линейная ось: Nanomotion FB-075-100 3шт. Перемещение 100мм
двигатели: пьезокерамический мотор Nanomotion HR-8 3шт.
вращащийся столик с вакуумным патроном 4-6"
миникомпрессор для вакуумного патрона.

Привод
сервоусилители: Nanomotion AB5 3шт. (лучше конечно AB2 но в продаже не нашел)
контроллер перемещений National NI PCI-7354 1шт (пока нашел только 7352 2х осевой или Danaher motion XMP Analog 8 axis, но без софта)

XY энкодер: Optra NanoGrid 1шт. Лазерный интерферометрический. подключается к плате DAQ.
Плата сбора данных: DAQ NI 6251 (или другая с аналогичной функциональностью) требуется 8каналов, 375кГц НА КАНАЛ, 14би + 4канала DAC для Sin/Cos сигнала или 4 цифровых для A-Quad-B сигналов.
Оптическую решетку для энкодера придется заказать в конторе кот делает голограммы или фотошаблоны для отеч. микросхем.
Z энкодер Renishaw RGH24H30 1шт. линейный оптический подключается к Motion controller напрямую.

Устройство экспонирования:
DLP проектор с лазерно-светодиодной подсветкой casio xj-a230, Установлено 6 лазерных диодов из 24,
Проектор закреплен на Z оси. (объектив пока снят)
вместе USB микроскоп 2Mpx

tvv
Posts: 4
Joined: Mon May 14, 2012 3:03 pm
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

Re: DIY NMOS 1 process

Post by tvv » Tue May 15, 2012 1:57 am

Danilov wrote: двигатели: пьезокерамический мотор Nanomotion HR-8 3шт.
упс... Какая штучка! ;)

Как-то я эти игрушки упустил из виду - про PCBmotor знаю, а эти как-то упустил...
Интересная игрушка, надо подумать.

Тока эта, а нафиг там 8-й? (если я правильно понял, там 8 типовых модулей в параллель?)

Сила у него конечно больше(но тут она не нужна), но зато взаимные биения и другие чудеса могут сказаться на точности весьма странными глюками...
Так что IMHO лучше брать 1-й, самый простой - проблем будет меньше.


Ну и да, сколько оно стоит?

(а то я тут вспомнил что у обычного феррита есть не слабый магнитострикционный эффект,
а титанат бария можно легко сделать на коленке при помощи пресса из домкрата и муфельной печи...)



Danilov wrote: Оптическую решетку для энкодера придется заказать в конторе кот делает голограммы или фотошаблоны для отеч. микросхем.
вот еще, микросхемный завод искать ;)

Проще сделать линейку в типографии где делают фотошаблоны для печатных форм(2 с разным шагом - Муаровы полосы ловить),
и использовать вместо фотодиода линейный(или матричный - многие матричные сенсоры умеют сканировать области меньше чем кадр, но чаще)
оптический датчик для считывания Муарового рисунка...
(5$ веб-камера + 10-20$ за туеву хучу всяких линеек и енкодеров - в типографии лист ~ А2.
Веб-камеру правда придеться вскрывать и хакать, смотреть какой там сенсор, и отучать умничать...
Или взять готовый микроновский сенсор, который все это умеет и на него даташит есть)


А еще проще сделать самодельный индуктосин.
Danilov wrote: DLP проектор с лазерно-светодиодной подсветкой casio xj-a230,
из DLP модуля лучше сделать 3д принтер ;)

http://www.kickstarter.com/projects/b9c ... 3d-printer


а экспонировать (если спешить не куда) можно хоть проекцией экрана монитора через линзу,
хотя лучше конечно лазер с механической разверткой...


А еще лучше электронный (или ионный для низкого разрешения) луч.
Danilov wrote: вместе USB микроскоп 2Mpx
крутой оптический микроскоп легко сделать из веб-камеры - главное чтобы камера была дешевая ;)

http://professionali.ru/Soobschestva/ot ... b-kamyery/

Vladimir

User avatar
BarsMonster
Site Admin
Posts: 1118
Joined: Wed Oct 01, 2008 7:58 pm
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

Re: DIY NMOS 1 process

Post by BarsMonster » Fri May 18, 2012 9:43 am

Матрицы - хакать ничего не надо, они продаются как отдельно так и готовыми модулями, в даташите все описание, к FPGA/uC подключается без проблем.
Я для тестов покупал вот это : http://www.aliexpress.com/wholesale?Sea ... d=0&catId=


Сканирование одной строки - будет работать, и думаю выйдет дешевле, чем искать специализированную линейную матрицу.

tvv
Posts: 4
Joined: Mon May 14, 2012 3:03 pm
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

Re: DIY NMOS 1 process

Post by tvv » Fri May 18, 2012 10:20 am

BarsMonster wrote: Я для тестов покупал вот это : http://www.aliexpress.com/wholesale?Sea ... d=0&catId=
кгм... ну и цены у вас... я чуть не подавился ;) Хотя конечно приятно встретить миллионера ;))

http://www.dealextreme.com/p/usb-pc-web ... 13?item=32

И ничего париться с подключением не надо - фтыкаешь прямо в андроидный планшет,
и весь блок упр сразу вместе с сенсорным дисплеем готов. Планшеты от 60 баксоффф...

Vladimir
PS вот найти бы еще вменяемый дешевый чип, который можно воткнуть в USB,
и получить на выходе кучку портов ввода-вывода для управления...

User avatar
BarsMonster
Site Admin
Posts: 1118
Joined: Wed Oct 01, 2008 7:58 pm
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

Re: DIY NMOS 1 process

Post by BarsMonster » Fri May 18, 2012 12:13 pm

tvv wrote:кгм... ну и цены у вас... я чуть не подавился ;) Хотя конечно приятно встретить миллионера ;))

http://www.dealextreme.com/p/usb-pc-web ... 13?item=32
Так это совершенно разные весовые категории, частные 2 мегапикселя, против дерьмовых 320x240 :-)

tvv
Posts: 4
Joined: Mon May 14, 2012 3:03 pm
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

Re: DIY NMOS 1 process

Post by tvv » Fri May 18, 2012 1:05 pm

А читать внимательно не пробовали? ;)
Там именно сама матрица 1.3MP, или даже 2.

Меньше уже просто не делают ;)

Да, причем важно чтобы это был свежий чип и ДЕШЕВЫЙ - то есть по макс технологиям.

Потому что для микроскопа чем меньше пиксель, тем лучше - а если ваши 30$ модули залежались
на складах(что наверяка), то они вполне могут быть сделаны просто на большом куске кремния
по старым технологиям.

Низкая цена - практически гарантия что кусок кремния там не большой...
(а идиоты берут которые дороже и круче - там пиксель больше - а для микроскопа это плохо)

Тонкости технологии ;)))

Vladimir
PS чем ниже цена - тем круче прибор ;)

User avatar
BarsMonster
Site Admin
Posts: 1118
Joined: Wed Oct 01, 2008 7:58 pm
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

Re: DIY NMOS 1 process

Post by BarsMonster » Fri May 18, 2012 2:19 pm

tvv wrote:А читать внимательно не пробовали? ;)
Там именно сама матрица 1.3MP, или даже 2.

[...]

PS чем ниже цена - тем круче прибор ;)
Конкретно эта камера с DX у меня есть.
Уверяю, там матрица супер-древняя, c родным разрешением 320x240, и качество изображения - худшее из того, что я видел.

tvv
Posts: 4
Joined: Mon May 14, 2012 3:03 pm
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

Re: DIY NMOS 1 process

Post by tvv » Fri May 18, 2012 3:01 pm

==========
- Maximum video capture resolution: 1280*960 (1.3mega pixel model), 640*480 (regular model)
- Face hunting feature to zoom in human face automatically (1.3 Mega Pixel model only).

- Refresh rate: 30fps for 640*480, 15fps for 1280*960
- 1280*960 video capture resolution is only usable in the AMCap software only to capture video
==========

может какой-то другой софт нужен?

Или правда делают с 2 разными типами матриц?

Где-то еще видел упоминание насчет дополнительного питания...

User avatar
BarsMonster
Site Admin
Posts: 1118
Joined: Wed Oct 01, 2008 7:58 pm
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

Re: DIY NMOS 1 process

Post by BarsMonster » Fri May 18, 2012 3:21 pm

tvv wrote:может какой-то другой софт нужен?

Или правда делают с 2 разными типами матриц?
Это обычный развод маркетологов. Матрица физически с разрешением 320x240, до любого разрешения выше - растягивается интерполяцией, картинка получается мутная (с реальным разрешением 320x240) но пипл хавает - и нормально.

Вот видео с этой камеры:

http://www.youtube.com/watch?feature=pl ... s95lQKsDkg

Post Reply
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable
[phpBB Debug] PHP Warning: in file [ROOT]/vendor/twig/twig/lib/Twig/Extension/Core.php on line 1266: count(): Parameter must be an array or an object that implements Countable

Who is online

Users browsing this forum: No registered users and 0 guests